5月28日,廣晟集團控股上市公司中金嶺南所屬韶關(guān)冶煉廠(簡稱“韶冶廠”)傳來重大喜訊,在稀貴金屬綠色回收與提取實驗室半導(dǎo)體襯底材料中試團隊的努力下,韶冶廠成功自主合成第一爐砷化鎵多晶。
▲技術(shù)人員正取出砷化鎵多晶
此次合成的砷化鎵多晶,是以高純鎵和高純砷為原料進行配料,并在真空狀態(tài)下高溫合成,完整性好,成品率為95%,電學(xué)性能指標(biāo)優(yōu)異,完全滿足砷化鎵單晶制備要求。
砷化鎵多晶合成及其單晶制備,是砷化鎵襯底材料制備的核心工藝。合成的砷化鎵多晶需要經(jīng)過后續(xù)的單晶生長、切割、磨邊、研磨、拋光、清洗等一系列復(fù)雜嚴謹?shù)墓に?,最終產(chǎn)出砷化鎵襯底材料。此次砷化鎵多晶的成功制備,是韶冶廠堅持科技創(chuàng)新成果產(chǎn)業(yè)化,推動產(chǎn)業(yè)鏈向中高端、高附加值延伸的重大舉措,標(biāo)志著韶冶廠向半導(dǎo)體材料領(lǐng)域進軍邁出了堅實的第一步。
▲剛出爐的砷化鎵多晶
近年來,在地方政府和上級公司的大力支持下,韶冶廠牢牢抓住轉(zhuǎn)型升級這個主攻方向,加快打造中金嶺南(韶關(guān))功能材料產(chǎn)業(yè)園。該產(chǎn)業(yè)園區(qū)的重點項目——年產(chǎn)86萬片高純半導(dǎo)體襯底材料項目,將利用韶冶廠現(xiàn)有成熟、先進的環(huán)保技術(shù)和工藝裝備,以及完善的配套基礎(chǔ)設(shè)施,依托中金嶺南稀散金屬資源及全產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢,對接粵港澳大灣區(qū),結(jié)合有色金屬新型功能材料的市場需求,建立包括單晶生長、單晶加工、襯底加工等在內(nèi)的一體化生產(chǎn)線。該項目將充分發(fā)揮韶冶廠稀散金屬材料綜合回收科技領(lǐng)先技術(shù),對廣東省的稀散金屬資源進行全面整合和深度加工,補齊韶關(guān)市高純材料制造與稀散金屬初加工之間的產(chǎn)業(yè)鏈空缺,提高產(chǎn)業(yè)集中度、附加值,增強企業(yè)核心競爭力。
撰稿:黃吉萬
編輯:劉 韻
編審:杜文光